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本研究中，我們利用捲繞式(roll-to-roll,R2R)脈衝直流濺鍍系統來濺鍍銦錫氧化(indium tin oxide, ITO)導電薄膜於聚對苯二甲酸乙二酯聚合物(polyethylene …
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焦電薄膜感測器是以溫度變化產生焦電訊號。本文分別使用三種射頻源功率90W、120W及150W進行單階段濺鍍氧化鋅焦電薄膜，及此三種射頻源功率構成六種組合以雙階段的濺鍍技術沈積氧化鋅焦電薄膜。氧化鋅焦…
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中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生，而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度，且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化，進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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熱生長氧化物 TGO(Thermally Grown Oxide)生長和鈣鎂鋁矽酸鹽CMAS (Calcium-Magnesium-Aluminum-Silicate) 滲透是熱障塗層系統TBCs …
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三維(3D)列印深具市場潛力，未來應用將越來越廣泛。本文探討市售3D列印線材丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)，以加熱混製法，混入二氧化鈦(TiO2)奈米粉末後之硬度與抗拉強度實驗，並在室溫、50℃、…
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本文將利用射頻磁控濺鍍機(RF magnetron sputter)濺鍍氧化矽薄膜於可撓性基材PET上，利用單階段濺鍍技術與雙階段濺鍍技術，並改變濺鍍功率，探討其對氧化矽薄膜之表面粗糙度、表…
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焦電薄膜感測器乃利用焦電效應，將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標，其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質，而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…